半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品材料的處理

半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品材料的處理半導(dǎo)體工業(yè)用石墨制品材料的處理

未使用過的石墨制品材料發(fā)熱體、保溫罩、托架和籽晶夾、石墨坩鍋等器件，因在機(jī)械加工時(shí)有石墨粉附著在石墨制品材料器件的表面或浸入石墨體氣孔中，也可能有其他雜質(zhì)浸人石黑孔隙中，為了防止在使用中對(duì)半導(dǎo)體材料引起污染，在使用前必須進(jìn)行預(yù)處理。

一種預(yù)處理方法是先將石墨器件在四氯化碳中浸泡數(shù)小時(shí)，然后用去離子水沖凈并烘干，在使用溫度下真空煅燒3~4h，再保存起來(lái)待用。另二種預(yù)處理方法是將石墨器件放在王水里浸泡24h，取出后用去離子水煮沸多次，首至溶液望中性為正。烘于后連同整套石墨器件裝在爐腔里，在真空中（一般10-mmlHg以上）進(jìn)行高溫處理h，其溫度應(yīng)稍高于工作溫度，冷卻后取出放人干燥瓶待用。對(duì)使用過的行題器件可愛善保管。再使用時(shí)，可先用0號(hào)金相砂紙擦去表面層，再經(jīng)去離子水和無(wú)水酒精擦凈后烘干，即可使用。